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二合一超快SEM解决方案Pico SEM B二合一超快扫描电镜解决方案在FE 枪和聚光透镜之间引入脉冲发生器,该脉冲发生器可通过皮秒级射频电激发电子束并可保持原始扫描电镜的光束质量,并在脉冲发生器关闭时对正常操作的影响最小(理想情况下没有)。
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