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超快SEM解决方案

产品型号: Pico SEM C 更新时间: 2022-04-02
超快SEM解决方案

产品概述

Euclid Techlabs LLC 提供独立开发的超快脉冲发生器系统,将传统的 SEM 转换为时间分辨 SEM 该脉冲发生器可适用于 TFS Verios 5 XHR SEM,从而将频闪时间分辨率引入现有 SEM 系统,而不会降低其原有性能。为了保持原始光束质量,并在脉冲发生器关闭时对正常操作的影响最小(理想情况下没有),我们可能建议将脉冲发生器插入 FE 枪和聚光透镜之间。 脉冲发生器与原始 SEM 腔具有相同的真空接口。 控制单元通过锁相延迟线向脉冲发生器(电和光)提供控制信号,并为样品提供同步的电或光信号。


特点:

• 百皮秒级射频电激发电子束


规格:

能量范围:2~30 keV

电子束频闪率:15MHz~3GHz(电激发)

电子脉冲长度:100ps~period-100ps(电激发)

辐射安全

SEM 腔真空兼容

在电激发下保持 SEM 的原始固有空间分辨率。


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