标样为碳台上的镀金颗粒，这种标样的优点如下：碳与金的原子序数相差大，标样木身的自然衬度高，便于扫描电镜选择小束斑进行高分辨成像;标样导电导热性能好，在电子束稳定;金颗粒尺寸2nm~30nm，适用于放大倍数5万倍以上的图像。
另外一种标样是碳台上的锡球，样品自然衬度高;比金颗粒更耐电子束辐照，高倍时在某一个部位反复消像散和聚焦，锡球不会污染变黑;锡球尺寸3nm~30um，这样宽的尺寸范围适用于放大倍率从低到高校准仪器，圆球便于消除像散。通常可以把这两个标样同时放入扫描电镜，先利用锡球调整仪器，再用金颗粒拍分辨率照片。
分辨率照片为金颗粒的二次电子像，拍摄条件各公司略有不同，场发射扫描电镜放大倍率选20万倍或30万倍;加速电压15kV~30kV;工作距离2mm~5mm。对于常规扫描电镜放大倍率只选10万倍。金颗粒图像边缘要清晰，没有明显像散。
如何评定是否达到分辨率要求?(例如场发射电镜为1nm，常规电镜为3nm)有几种方法：传统方法是在光学比长仪或读数显微镜下测量照片上两个Z近颗粒的间距，除以图像放大倍率。现在扫描电镜有尺度测量功能，在图像上直接测量颗粒大小或者两个Z近颗粒的间距，这两种方法均会引入操作者的瞄准误差，测试结果有时会有争议;有的扫描电镜具备分辨率检测功能，利用图像分析程序自动给出颗粒的小间距，如果严格要求，分辨率测定应该在图像的三个同方向上均予满足。
分辨率检测还有低加速电压的规定，场发射扫描电镜在1kV、20万倍或10万倍下拍照，分辨率指标为2nm;常规扫描电镜在3kV、5万倍下拍照，分辨率要求5nm。
