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如何评定扫描电镜是否达到分辨率要求?

发布日期: 2021-09-01
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  标样为碳台上的镀金颗粒,这种标样的优点如下:碳与金的原子序数相差大,标样木身的自然衬度高,便于扫描电镜选择小束斑进行高分辨成像;标样导电导热性能好,在电子束稳定;金颗粒尺寸2nm~30nm,适用于放大倍数5万倍以上的图像。
  另外一种标样是碳台上的锡球,样品自然衬度高;比金颗粒更耐电子束辐照,高倍时在某一个部位反复消像散和聚焦,锡球不会污染变黑;锡球尺寸3nm~30um,这样宽的尺寸范围适用于放大倍率从低到高校准仪器,圆球便于消除像散。通常可以把这两个标样同时放入扫描电镜,先利用锡球调整仪器,再用金颗粒拍分辨率照片。
  扫描电镜分辨率评定:
  分辨率照片为金颗粒的二次电子像,拍摄条件各公司略有不同,场发射扫描电镜放大倍率选20万倍或30万倍;加速电压15kV~30kV;工作距离2mm~5mm。对于常规扫描电镜放大倍率只选10万倍。金颗粒图像边缘要清晰,没有明显像散。
  如何评定是否达到分辨率要求?(例如场发射电镜为1nm,常规电镜为3nm)有几种方法:传统方法是在光学比长仪或读数显微镜下测量照片上两个Z近颗粒的间距,除以图像放大倍率。现在扫描电镜有尺度测量功能,在图像上直接测量颗粒大小或者两个Z近颗粒的间距,这两种方法均会引入操作者的瞄准误差,测试结果有时会有争议;有的扫描电镜具备分辨率检测功能,利用图像分析程序自动给出颗粒的小间距,如果严格要求,分辨率测定应该在图像的三个同方向上均予满足。
  分辨率检测还有低加速电压的规定,场发射扫描电镜在1kV、20万倍或10万倍下拍照,分辨率指标为2nm;常规扫描电镜在3kV、5万倍下拍照,分辨率要求5nm。
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