三合一超快SEM解决方案Femto SEM A-奥达科学有限公司

Femto SEM A三合一超快扫描电镜解决方案采用飞秒级激光激发阴极电子束，同时在FE 枪和聚光透镜之间引入脉冲发生器，该脉冲发生器可通过皮秒级射频电激发电子束并可保持原始扫描电镜的光束质量，并在脉冲发生器关闭时对正常操作的影响最小（理想情况下没有），通过同频异步双激发可实现飞秒级时间分辨率（光激发），并保持 SEM 的原始固有空间分辨率（电激发）。再融合飞秒激光泵浦样品联动，实现对样品的超快表征。

特点：

• 飞秒级激光激发阴极电子束

• 皮秒级射频电激发电子束

• 同频异步双激发

• 飞秒激光泵浦样品联动

规格：

• 能量范围：2~30 keV

• 电子束频闪率：200kHz~25MHz（光激发），15MHz~3GHz（电激发）

• 电子脉冲长度：300fs（光激发），100ps~period-100ps（电激发）

• 辐射安全

• 与 SEM 腔真空兼容

• 在电激发下保持 SEM 的原始固有空间分辨率。

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三合一超快SEM解决方案

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