氮化硅薄膜窗口是透射电镜常用的耗材,在样品杆上进行实验。根据实验需求的不同,科研人员采用不同的样品杆和氮化硅薄膜窗口进行相关实验。有些实验,对样品杆有加热的功能需求,因此出现了加热样品杆和加热氮化硅薄膜窗口(加热芯片)。
加热杆的电热电子芯片采用*的加热技术,在绝缘层上添加了额外电极图案。这种分离电刺激的设计,减少了电流的泄漏和保持了信号的完整性,从而能够在一个稳定的平台上同时进行试样的加热和电化学表征。
电学表征:透射电镜的电学测试面临的最大挑战是:表征纳米尺度样品的电学性能时,所需要的电流非常小,通常小于1nA,并且必须被准确的加载和测量以确保结果的准确性。选择合适的加热杆才能获得可靠的实验数据。根据加热杆,定制加热氮化硅薄膜窗口(加热芯片)或者加热杆厂家直接提供都是可以的。
原位芯片提供的定制热学/加热芯片是依靠氮化硅膜超高的稳定性和低热容量的特点实现稳定的原位热学观测。芯片使用铂为加热电极层与信号反馈层,可耐受1200℃高温。定制加热氮化硅薄膜窗口(加热芯片)可高分辨地对样品的晶体结构、化学组分、元素价态进行综合表征。适合:真空条件下的热反应过程(如材料相变)以及电学下的氧化还原反应等。