扫描电镜有多项性能和技术指标，例如：分辨率、放大倍率误差、低倍畸变、束流稳定性、样品污染率、真空度、换样品抽真空时间、开机到工作抽真空时间、样品台位移距离等，这些均有量化指标。其中，扫描电镜的分辨率、放大倍数等参数又是选购考察的重要位置。
分辨率是扫描电镜重要指标，它反映了仪器的综合性能。各种类型的扫描电镜分辨率不同，标识了仪器进入做微观领域的尺度有差异，这也是不同档次电镜的卖点。用户Z关心这个指标是否符合要求。对于厂方工程师，拍摄分辨率照片也是一项技术挑战，要把扫描电镜各个环节求。对于厂方工程师，拍摄分辨率照片也是一项技术挑成，要把扫描电镜各个环节调整到Z佳状态，选用几乎极限的操作条件，反复拍照，直到拿出满意照片。
扫描电镜分辨率影响因素
电子源：
灯丝(电子枪)是电子源的提供者，也是扫描电镜Z重要的部件，灯丝所发射电子的密度、束斑尺寸、能量分布将决定性影响扫描电镜的分辨率。
1、钨灯丝
钨灯丝具有结构简单、束流大、真空要求低、易更换等优点，但是由于其束流密度小、信噪比差、化学稳定性差、且使用寿命短(80-100h)，因此，在使用过程中需要高频率的更换灯丝，以确保扫描电镜保持较为稳定的分辨率。
2、CeB6灯丝
CeB6灯丝亮度为1000A/cm2，是钨灯丝亮度的10倍，因此具有更高的分辨率。CeB6灯丝具有更好的抗干扰能力，工作温度为1800K，远低于钨灯丝工作温度(2800K)，灯丝挥发量相对较小，因此使用寿命基本都可达到1500h，如果再加以规范管理，使用寿命可进一步延长。
电子光路系统：
在电子光路系统中，电子枪栅极到阳极区间是受阴极蒸气污染较为严重的区域，需要定时对韦氏帽、阳极等进行超声、抛光清理才能维持扫描电镜良好的状态。如果清理时操作不当或者环境灰尘较多，还有可能造成光路系统的二次污染，更换灯丝的频率越高，受污染的概率也会增大，这也是钨灯丝扫描电镜性能衰减严重的主要原因之一。
