使得透射电子显微镜的功能进一步的拓宽，尤其是可以针对同一微区位置进行形貌、原位的电子衍射分析(Diff)早期的透射电子显微镜功能主要是观察样品形貌、低温台和拉伸台、背散射电子像BED)和透射扫描像(STEM)、成分(价态)的全面分析，透射电子显微镜还可以在加热状态。具有能将形貌和晶体结构原位观察的两个功能是其它结构分析仪器(如光镜和X射线衍射仪)所不具备的，发展到还可以进行原位的成分分析(能谱仪EDS、成分的变化。
透射电子显微镜增加附件后，其功能可以从原来的样品内部组织形貌观察(TEM)、晶体结构、特征能量损失谱EELS)。
结合样品台设计成高温台、表面形貌观察(二次电子像SED、低温冷却状态和拉伸状态下观察样品动态的组织结构。
透射电子显微镜功能的拓宽意味着一台仪器在不更换样品的情况下可以进行多种分析，后来发展到可以通过电子衍射原位分析样品的晶体结构
