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说一说扫描电镜样品台的组成部分

发布日期: 2020-09-10
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  扫描电镜即扫描电子显微镜(SEM)。主要用于观察样品的表面形貌、割裂面结构、管腔内表面的结构等。是利用电子射线轰击样品表面,引起二次电子等信号的发射,经检测装置接收后成像的一类电镜。
  扫描电镜样品台这部分主要由电子枪、电磁透镜、扫描线圈、样品室组成。
  电子枪提供一个稳定的电子源,形成电子束,一般使用钨丝阴极电子枪,用直径约为0.1mm的钨丝,弯成发夹形,形成半径约为100um的V形。当灯丝电流通过时,灯丝被加热,达到工作温度后便发射电子,在阴极和阳极间加有高压,这些电子则向阳极加速运动,形成电子束。扫描电镜电子束在高压电场作用下,被加速通过阳极轴心孔进入电磁透镜系统。
  电磁透镜由聚光镜和物镜组成,其作用是依靠透镜的电磁场与运动电子相互作用使电子束聚焦,将电子枪发射的电子束10~50um压缩成5~20nm,缩小到约1/10000。聚光镜可以改变入射到样品上电子束流的大小,物镜决定电子束束斑的直径。电子光学系统中存在的球差、色差、像散等,都会影响Z终图像的质量。球差的产生使远离光轴轨迹上运动的电子比近轴电子受到的聚焦作用更强。克服的方法是在电子光学的光轴中加三级固定光阑挡住发散的电子束,光阑通常采用厚度为0.05mm的钼片制作,物镜消像散器提供一个与物镜不均匀磁场相反的校正磁场,使物镜Z终形成一个对称磁场,产生一束细聚焦的电子束。
  荷兰DENSsolutions公司提供技术先进的透射电镜(TEM)样品管理解决方案,为客户提供快捷、可靠的纳米尺度原位显微工具。其应用领域包含:纳米材料原位加热研究、碳基纳米材料无损成像、金属结构、催化剂、陶瓷原位加热研究等。产品包括原位TEM样品加热、电学、气体以及液体系统等。
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