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如何提高试样在扫描电镜样品台上的稳定性

发布日期: 2020-08-21
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  扫描电镜是失效机理分析的重要手段,二次电子成像可以直接观察断裂类型和断裂源。从(准)解理断裂、韧窝断裂以及其他显微断口特征形貌可以推断失效是否来源于晶界缺陷、夹杂物以及氢致裂纹(HIC),所以,扫描电镜在高质量等级品种钢开发的过程中扮演着重要的角色。扫描电镜样品台为圆形,靠马达带动可以实现X、Y、Z向的步进式移动以及转动。失效分析试样的种类繁多,形状各异,单纯依靠导电双面胶将试样固定在样品台上,固定不牢,因为导电双面胶与试样和样品台的粘合度不高,在样品台移动过程中,样品易脱落,对扫描电镜分析造成诸多不便。
  提供一种用于扫描电镜样品台上的试样固定装置,其结构合理,操作简便,固定试样的稳定性好,可以确保试样在样品台移动过程中保持静止不动,简化试样的准备程序,方便对试样进行扫描电镜分析。本实用新型的目的是这样实现的一种用于扫描电镜样品台上的试样固定装置,在中心基座的下端固接着试样夹持爪,在中心基座的周边上均布固接着呈放射状的夹紧弹片,在每只夹紧弹片的外端部分别固接着弹圈限位杆,弹圈限位杆由相互呈90°折弯的水平杆和垂直杆构成,每只夹紧弹片的外端部分别固接着每只弹圈限位杆的水平杆,每只弹圈限位杆的垂直杆外端部分别均布固接在具有开口的固定弹圈上。本实用新型由固定弹圈、弹圈限位杆、夹紧弹片及其端部试样夹持爪组成,试样夹持爪由条弧形弹片组成,弹片末端连线形状为圆形,夹紧试样时,试样夹持爪弹片张开,对于任何形状、尤其是薄片状试样可以实现牢固夹紧。扫描电镜样品台为圆柱体,固定弹圈开口,使其能够张紧套在样品台上,结合弹圈限位杆,实现试样固定装置与样品台的紧密配合和固定。夹紧弹片固定在弹圈限位杆上,在自由状态时汇聚在一起,汇聚点投影落在样品台中心。夹紧弹片端部为试样夹持爪,试样夹持爪所用材料同样是弹性的,可以实现夹持爪与试样的大面积稳定接触和夹紧。在扫描电镜实验开始前放置试样时,首先将试样固定装置加装在样品台上,然后将夹紧弹片掰开,放入试样后放手,实现试样的夹紧。节省了导电胶等扫描电镜耗材,简化了试样准备流程,提高了试样稳定性,减少了试样掉落的潜在风险。本实用新型结构合理,操作简便,固定试样的稳定性好,确保了试样在样品台移动过程中保持静止不动,简化了试样的准备程序,方便了对试样进行扫描电镜分析。
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