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扫描电子显微镜知识介绍

更新时间:2023-12-05      点击次数:933
  扫描电子显微镜的适用范围:
 
  1、生物学:种子、花粉;
 
  2、医学:血球、病毒;
 
  3、动物学:大肠、绒毛、细胞、纤维;
 
  4、材料:陶瓷、粉末、环氧树脂;
 
  5、化学、物理、地质、冶金、矿物、污泥 、机械、电机及导电性样品,如半导体(IC、线宽量测、断面、结构观察)电子材料等。
 
  扫描电子显微镜基础知识具有以下的特点:
 
  (1) 可以观察直径为0 ~ 30mm的大块试样(在半导体工业可以观察更大直径),制样方法简单。
 
  (2) 场深大、三百倍于光学显微镜,适用于粗糙表面和断口的分析观察;图像富有立体感、真实感、易于识别和解释。
 
  (3) 放大倍数变化范围大,一般为 15 ~ 200000 倍,对于多相、多组成的非均匀材料便于低倍下的普查和高倍下的观察分析。
 
  (4) 具有相当高的分辨率,一般为 3.5 ~ 6nm。
 
  (5)可以通过电子学方法有效地控制和改善图像的质量,如通过调制可改善图像反差的宽容度,使图像各部分亮暗适中。采用双放大倍数装置或图像选择器,可在荧光屏上同时观察不同放大倍数的图像或不同形式的图像。
 
  (6) 可进行多种功能的分析。与 X射线谱仪配接,可在观察形貌的同时进行微区成分分析;配有光学显微镜和单色仪等附件时,可观察阴极荧光图像和进行阴极荧光光谱分析等。
 
  (7) 可使用加热、冷却和拉伸等样品台进行动态试验,观察在不同环境条件下的相变及形态变化等。

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