透射电子显微镜（Transmission electron microscope,TEM）是使用广泛的电子显微镜之一，和扫描电子显微技术共同组成了电子显微学的“两大支柱”。TEM的测试原理是利用透过样品的电子进行成像和结构分析，由于电子的穿透能力较弱，样品的厚度、导电性、磁性和分散性等特征对测试结果的好坏起到直接的影响。因此，相比于扫描电镜样品的制备，透射电镜的制样更加复杂和精细，对于不同的材料应当根据其特性并采用合适的制样方法。在本文中，我们将为大家介绍和比较透射电镜中常用的各类制样方法。
TEM常用的载样工具制成杆状，称样品杆，针对不同的测试需求有不同的样品杆，样品搭载在支撑网（通常是铜网）里并放在样品杆前端，每个样品杆最多只能放1~2个铜网。使用样品杆载样的优点在于，载样工具的体积小、所占空间也小，可以设置在物镜内部的上半端，有利于提高电镜分辨率。缺点是不能同时放入太多样品网，更换样品必须破坏一次样品室的真空，效率较低。
要想摄制出一张高质量的TEM照片，首先需要制备出合格的透射电镜样品。金属薄膜样品在最终减薄以前，要尽可能磨得薄一些，最好在30μm以下，不要超过50μm。最终减薄可以用离子减薄仪，离子束与样品表面夹角一般在15-18°。角度大时减薄时间短些，反之时间长。离子减薄以后的样品薄区大，但减薄所需时间较长，一般需几个至十几个小时。双喷电解减薄仪的减薄时间很短，一般在0.5min左右。关键环节是选择合适的电解液，并满足电解液所需的温度。需要低温时，要根据温度要求来选择液氮、干冰或冰块，以防试样氧化。
制备粉末样品的关键是要做好支持膜，并把粉末分散均匀、浓度适中。待支持膜干透了以后再装入电镜观察，以免在电子束的照射下，支持膜破裂。
照相前，要调好电压对中、电流对中、亮度对中，消除像散，使物镜光阑孔与中心透射斑点同心。用5倍的双目镜协助，对图像聚焦。要选择亮度均匀的区域作为拍摄对象，尽可能使图像充满拍摄区域，把主要的观察对象放在荧光屏中心。FULL-HALF（全张-半张）转换旋钮要旋转到位，如果不到位，会出现图像分割不均现象，底片无法正常使用。
薄膜样品用200kV加速电压，曝光时间一般是：明场2.5-5s；暗场5-8s；衍射花样16-30s。拍摄明场时，如果荧光屏中有空白（图像没有充满荧光屏）时，曝光时间要按曝光表的指示值增加一档，实际上是减去空白处对亮度的贡献。
粉末样品先用低档加速电压，烘烤一下支持膜，待支持膜稳定以后，再提高加速电压。只要亮度能满足要求，就应尽量采用低的加速电压。照相时，如果发现支持膜不稳定，不要急于拍照，以免照出的像不清晰。因为电镜像放大倍数达数万倍，尽管试样有很小的漂移，在照片中误差也会很大。
