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介绍透射电镜块体样品的制备方法

发布日期: 2021-10-22
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  透射电镜是一种高分辨率、高放大倍数的显微镜,是材料科学研究的重要手段,能提供极微细材料的组织结构、晶体结构和化学成分等方面的信息。透射电镜的分辨率为0.1~0.2nm,放大倍数为几万~几十万倍。
  透射电镜样品制备要求
  透射电镜制样原则:
  ①简单。
  ②不破坏样品表面,如:避免磨样过程中产生的位错及离子减薄过程中产生的非晶现象等。
  ③尽可能获得大的薄区。
  透射电镜样品要求:
  ①对电子束透明(电子束穿透固体样品的厚度主要取决于:加速电压和样品原子序数)。
  ②固体、干燥、无油、无磁性。
  透射电镜块体样品的制备方法:
  1、离子减薄
  特点:不受材料电性能的影响,即不管材料是否导电,金属或非金属或者二者混合物,不管材料结构多复杂均可用此方法制备薄膜。
  ①样品裁剪:将透射电镜样品冲压成直径3mm的圆片。
  ②研磨抛光:将透射电镜样品圆片用手动研磨盘手动研磨至厚度低于80微米的圆片。
  ③凹坑:凹坑仪单面凹坑至圆片ZX厚度为10-30微米。
  ④离子减薄:设置好离子枪角度、减薄时间、加速电压将样品减薄至出现足够薄区。
  2、电解双喷
  特点:受材料电性能的影响,只能用于金属样品,并且耗时短成本低。
  ①样品裁剪:将透射电镜样品冲压成直径3mm的圆片。
  ②研磨抛光:将透射电镜样品圆片用手动研磨盘手动研磨至厚度低于100微米的圆片。
  ③凹坑:凹坑仪单面凹坑至圆片ZX厚度为10-30微米。
  ④电解双喷:设置好电解液、电压、温度将样品减薄至出现足够薄区。
  
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