原位加热加电TKD 样品台

DENSsolutions TKD 样品台可以让用户在扫描电子显微镜 (SEM) 或聚焦离子束 (FIB) 内进行原位加

热和/或电学实验。

该平台允许 SEM 和 FIB 用户使用 TKD（同轴/离轴）或传统 EBSD 技术进行原位微结构表征。 特别

是对于 TEM 用户，该平台允许用户在 SEM 内进行相对快速的初步原位样品表征，以便为进一步的

TEM 实验开发工作流程，从而节省宝贵的 TEM 时间。

技术参数：

1.       *电极数：8电极(可同时加热和加电)

2.       *金属加热丝，非陶瓷材料，升温降温速度快，即是热导材料，又是热敏材料，其电阻与温度有良好的线性关系。金属加热丝是被SiN包裹，不与样品发生反应。

3.       *温度范围：高温芯片：室温到1100℃，超高温芯片：室温到 1300℃，热电一体芯片：室温到 900℃。

4.       *温度稳定性：加热到 1300℃时，只有 < 0.01℃的温度变化

5.       *加热控制方式：四电极法闭合回路控制和反馈环境温度

6.       *最高电场：300kV/cm（室温-900℃）

7.       *最高工作电压： 150V（室温-900℃）

8.       最小的检测电流：pA范围

9.      温度精确度：≥95%

10.    温度均匀度：≥99.5%

兼容性：

SEM/FIB 设备探测器

• Zeiss Ultra and Gemini

• FEI (TF)* Nove NanoSem 600

(ESEM) & Helios G4 plasma FIB

• JEOL 4600

*可能需要样品台适配器

探测器

• Bruker Optimus On-axis TKD探测器

• Oxford Symmetry EBSD探测器