![]() |
DENSsolutions TKD 样品台可以让用户在扫描电子显微镜 (SEM) 或聚焦离子束 (FIB) 内进行原位加
热和/或电学实验。
该平台允许 SEM 和 FIB 用户使用 TKD(同轴/离轴)或传统 EBSD 技术进行原位微结构表征。 特别
是对于 TEM 用户,该平台允许用户在 SEM 内进行相对快速的初步原位样品表征,以便为进一步的
TEM 实验开发工作流程,从而节省宝贵的 TEM 时间。
技术参数:
1. *电极数:8电极(可同时加热和加电)
2. *金属加热丝,非陶瓷材料,升温降温速度快,即是热导材料,又是热敏材料,其电阻与温度有良好的线性关系。金属加热丝是被SiN包裹,不与样品发生反应。
3. *温度范围:高温芯片:室温到1100℃,超高温芯片:室温到 1300℃,热电一体芯片:室温到 900℃。
4. *温度稳定性:加热到 1300℃时,只有 < 0.01℃的温度变化
5. *加热控制方式:四电极法闭合回路控制和反馈环境温度
6. *最高电场:300kV/cm(室温-900℃)
7. *最高工作电压: 150V(室温-900℃)
8. 最小的检测电流:pA范围
9. 温度精确度:≥95%
10. 温度均匀度:≥99.5%
兼容性:
SEM/FIB 设备探测器
• Zeiss Ultra and Gemini
• FEI (TF)* Nove NanoSem 600
(ESEM) & Helios G4 plasma FIB
• JEOL 4600
*可能需要样品台适配器
探测器
• Bruker Optimus On-axis TKD探测器
• Oxford Symmetry EBSD探测器